Evaporación Térmica para SEM/TEM
| La deposición física de vapor (PVD) se realiza mediante
un proceso físico denominado evaporación térmica. Esta es una forma
de deposición de película fina, que es una tecnología que aplica
recubrimientos de materiales puros en condiciones de vacío sobre la
superficie de distintos objetos. El espesor de los recubrimientos,
también llamados películas suele quedar en el rango de angstroms a
micras y pueden ser de un sólo material o de multiples materiales
estructurados en capas. Los materiales que pueden aplicarse mediante las técnicas de evaporación térmica pueden ser elementos atómicos puros incluyendo metales y no metales, o pueden ser moléculas como los óxidos y nitruros. El objeto a ser recubierto suele denominarse sustrato y puede ser cualquier material como wafers de semiconductores, células solares, componentes ópticos, muestras de microscopía electrónica (SEM-EBDS), rejillas portamuestras para muestras de microscopía (TEM) y otros muchos ejemplos... La evaporación térmica requiere del calentamiento de un material sólido dentro de una cámara de vacío, elevando su estado hasta alcanzar una temperatura en la que se produzca vapor que eleve la presión. En el interior de la cámara de vacío, incluso una pequeña presión de vapor es suficiente para generar una nube de vapor dentro de la cámara. El material evaporado forma ahora un nuevo flujo de vapor, que al viajar por la cámara golpea el sustrato quedando adherido a él como un recubrimiento o película.
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 Diagrama de un proceso de Evaporación térmica |
Evaporadores Térmicos para la aplicación de Películas Delgadas y Microscopía Electrónica - La gama
Actualmente ofrecemos una completa gama de evaporadores de térmicos de sobremesa, desde el pequeño modelo de bajo coste SC7620 hasta el versátil y potente turboevaporador Q300ES Plus nuestra gama puede cubrir un amplio espectro de las aplicaciones de evaporación necesarias en investigación.
Además de los equipos basados en la exitosa plataforma Q150 los modelos E y ES pueden realizar procesos de recubrimiento mediante evaporación térmica de carbón o metales.
La serie de recubridores Q150 Plus está diseñada para satisfacer todos los requisitos en la preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión y barrido así como en muchas aplicaciones de película delgada.
Nuestro modelo más potente es el nuevo Q150V Plus. Este equipo ha sido diseñado para trabajar en ultra alto vacio (1 x 10-6 mbar) lo que le permite crear recubrimientos por sputtering de metales con grano muy fino en un medio sin contaminación de O2, N2 o vapor de agua.
El recubridor Q150R Plus es adecuado para la preparación de muestras para W-SEM utilizando metales no oxidantes (nobles) y para la preparación de muestras SEM por evaporación de carbón para su análisis por EDS y WDS.
La serie Q150 GB es la versión modular del metalizador / evaporador Q150TES Plus y está diseñado para su integración en cámaras de guante, manteniendo el sistema de despresurización (bomba de vacio rotatoria y turbobomba molecular) fuera de la cámara para evitar la contaminación del ambiente de ésta.
Si quiere comentar con nosotros cual puede ser la solución más adecuada para sus necesidades, no deje de consultarnos en el +34918168095, This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. o rellene nuestro formulario de contacto. Nuestro personal técnico estará encantado de ayudarle.
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Minimetalizador por sputtering / Glow Discharge SC7620El SC7620 es un metalizador por bombardeo iónico en fase gasesosa, compacto y de pequeño tamaño. Puede combinarse con el dispositivo externo opcional de evaporación de fibra de carbón (SC7620-CF), lo que le convierte en una opción de sputtering y evaporación combinado de bajo coste. Además el SC7620 cuenta de serie con función de glow discharge que le permite modificar la superficie de rejillas TEM y otros materiales.
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Metalizador por sputtering / Evaporador de carbón Q150R E PlusLa serie Q150R Plus está formada por un sistema apoyado en bomba rotatoria que constituye una fabulosa opción para la preparación de muestras de microscopía electrónica por bombardeo ionico en fase gaseosa con metales nobles (Au, Au/Pd y Pt) y para la preparación de muestras SEM por evaporación de carbón para EDS y WDS.La serie Q150R está disponible en tres formatos:
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Turbometalizador /Evaporador de Carbón Q150T E PlusLa serie Q150T Plus es un sistema de recubrimiento compacto apoyado por bomba turbomolecular ideal para aplicaciones SEM, TEM y muchas aplicaciones de película delgada. Trabaja con niveles de vacio de hasta 5 x 10-5 mbar. Está disponible en tres formatos:
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Turbometalizador /Evaporador de Carbón Q150V E PlusEl Q150V Plus ha sido optimizado para cubrir las necesidades de
las aplicaciones de alto vacio, permitiendo trabajar con presiones
de hasta 1x10-6 mbar. Trabajar con una
presión tan baja asegura la ausencia de particulas de oxígeno,
nitrógeno y vapor de agua de la cámara, evitándo así reacciones
químicas durante el proceso, que pudieran derivar en impurezas o
defectos en la nueva capa depositada. De la misma manera, la baja
dispersión permite crear capas de carbón amorfo de alta densidad y
pureza. |
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Turbosputtering / evaporador de carbón para cámara de guantes Q150 GBLa serie Q150 GB ha sido diseñado como sistema modular para trabajar en el interior de cámaras de guantes. Basado en el popular Q150T ES, el equipo mantiene toda su funcionalidad como turbo metalizador y evaporador de carbón de alto vacío, pero preparado para trabajar dentro de una cámara de guantes. De serie incorpora cabezales para sputtering y evaporación de barra de carbón así como soporte de muestras rotatorio. Como opciones puede equipar cabezales de evaporación de metales, glow discharge, medida de espesor de la deposición y soportes de muestra especiales.
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