Recubridores por Sputtering y Evaporadores de Carbón para SEM/TEM
Quorum Technologies ofrece la mayor gama de recubridores por sputtering y evaporadores de carbón para preparación de muestras para microscopía electrónica de transmisión y barrido y aplicación de películas delgada del mercado. Los metalizadores de las series Q150 Plus y Q300 Plus se utilizan hoy en miles de laboratorios de microscopía electrónica de todo el mundo y día a día su uso se está incrementando en la aplicación de películas delgadas. La deposición por bombardeo ionico en fase gaseosa (sputtering) es un método estándar para la preparación de muestras no conductoras antes de su observación en un microscopio electrónico de barrido (SEM). Ofrecemos recubridores de bajo coste que trabajan en bajo vacío apoyados por bombas rotatorias diseñados para la deposición de metales no oxidantes, como el Oro (Au) y Platino (Pt) y equipos avanzados de alto vacío equipados con bombas turbomoleculares, adecuados para la deposición de metales oxidantes y no oxidantes, como por ejemplo Cromo (Cr). Disponemos de modelos de gran tamaño para muestras de hasta 200mm de diámetro. La mayor parte de nuestros metalizadores fabricados por Quorum pueden configurarse también para permitir la evaporación de carbón, utilizando cabezales con barras o fibra de carbón. |
![]() Diseño de un sistema de recubrimiento por sputtering |
Recubridores para Microscopía Electrónica y Aplicación de Películas Delgadas - La gama
Ofrecemos la gama más completa de recubridores por sputtering y evaporadores de carbón. Basados en la exitosa plataforma Q150 todos los modelos comparten buena parte de la electrónica y mecánica, lo que les permite mantener una relación coste-calidad muy ajustada. El último paso de la evolución viene de la mano de la serie PLUS, en la que se ha dotado a todos los modelos Q de un nuevo chasis, electrónica, software y diversas mejoras que garantizan que la propuesta de Quorum Technologies sigue siendo la opción más versátil, sólida, potente y económica del mercado.
La serie de recubridores Q150 Plus está diseñada para satisfacer todos los requisitos en la preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión y barrido así como en muchas aplicaciones de película delgada. Está disponible en tres formatos: como recubridor por sputtering, evaporador de carbón o ambas técnicas combinadas en un mismo sistema compacto.
Nuestro modelo más potente es el nuevo Q150V Plus. Este equipo ha sido diseñado para trabajar en alto vacio (1 x 10-6 mbar) lo que le permite crear recubrimientos por sputtering de metales con grano muy fino en un medio sin contaminación de O2, N2 o vapor de agua.
El recubridor Q150R Plus es adecuado para la preparación de muestras para W-SEM utilizando metales no oxidantes (nobles) y para la preparación de muestras SEM por evaporación de carbón para su análisis por EDS y WDS.
Para las muestras más grandes, Q300TT Plus (apoyados por bomba turbomolecular) permite el recubrimiento de muestras de gran tamaño con diámetros de hasta 300mm, como obleas, así como el trabajo simultáneo con muchas muestras. Ambas series cuentan con cabezales triples de metalización por sputtering para asegurar la correcta deposición en grandes superficies.
Para la aplicación de película delgada, la serie Q300TD Plus se ha diseñado como sputtering de dos target (blancos) secuencial, permitiendo la deposición consecutiva de dos capas de metal sin necesidad de romper el vacío.
La serie Q150 GB es la versión modular del metalizador / evaporador Q150TES Plus y está diseñado para su integración en cámaras de guante, manteniendo el sistema de despresurización (bomba de vacio rotatoria y turbobomba molecular) fuera de la cámara para evitar la contaminación del ambiente de ésta.
Completando la gama ofrecemos la serie SC7620, como solución económica y potente. Se trata de un metalizador compacto de pequeño tamaño y bajo coste que puede equipar además una unidad adicional de evaporacoción de fibra de carbón y un cabezal de plasma de forma opcional.
Si quiere comentar con nosotros cual puede ser la solución más adecuada para sus necesidades, no deje de consultarnos en el +34918168095, This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. o rellene nuestro formulario de contacto. Nuestro personal técnico estará encantado de ayudarle.
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Minimetalizador por sputtering / Glow Discharge SC7620El SC7620 es un metalizador por bombardeo iónico en fase gasesosa, compacto y de pequeño tamaño. Puede combinarse con el dispositivo externo opcional de evaporación de fibra de carbón carbón (SC7620-CF), lo que le convierte en una opción de sputtering y evaporación combinado de bajo coste. Además el SC7620 cuenta de serie con función de glow discharge que le permite modificar la superficie de rejillas TEM y otros materiales.
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Metalizador por sputtering / Evaporador de carbón Q150R PlusLa serie Q150R Plus está formada por un sistema apoyado en bomba rotatoria que constituye una fabulosa opción para la preparación de muestras de microscopía electrónica por bombardeo ionico en fase gaseosa con metales nobles (Au, Au/Pd y Pt) y para la preparación de muestras SEM por evaporación de carbón para EDS y WDS.La serie Q150R está disponible en tres formatos:
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Turbometalizador /Evaporador de Carbón Q150T PlusLa serie Q150T Plus es un sistema de recubrimiento compacto apoyado por bomba turbomolecular ideal para aplicaciones SEM, TEM y muchas aplicaciones de película delgada. Trabaja con niveles de vacio de hasta 5 x 10-5 mbar. Está disponible en tres formatos:
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Turbometalizador /Evaporador de Carbón Q150V Plus de alto vacíoEl Q150V Plus ha sido optimizado para cubrir las necesidades de
recubrimiento en alto vacio, permitiendo trabajar con presiones
de hasta 1x10-6 mbar. Trabajar con una
presión tan baja asegura la ausencia de particulas de oxígeno,
nitrógeno y vapor de agua de la cámara, evitándo así reacciones
químicas durante el proceso, que pudieran derivar en impurezas o
defectos en la nueva capa depositada. De la misma manera, la baja
dispersión permite crear capas de carbón amorfo de alta densidad y
pureza. |
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Turbosputtering / evaporador de carbón para cámara de guantes Q150 GBLa serie Q150 GB ha sido diseñado como sistema modular para trabajar en el interior de cámaras de guantes. Basado en el popular Q150T ES, el equipo mantiene toda su funcionalidad como turbo metalizador y evaporador de carbón de alto vacío, pero preparado para trabajar dentro de una cámara de guantes. De serie incorpora cabezales para sputtering y evaporación de barra de carbón así como soporte de muestras rotatorio. Como opciones puede equipar cabezales de evaporación de metales, glow discharge, medida de espesor de la deposición y soportes de muestra especiales.
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TurboMetalizador por sputtering de triple cabezalLa serie Q300TT Plus es un sistema de recubrimiento por sputtering apoyado por bomba turbomolecular ideal para la metalización de muestras de gran diámetro como wafers (hasta 200mm /8") o multiples muestras de menor tamaño. El Q300TT Plus es adecuado para el sputtering tanto de metales oxidantes como de metales nobles para la preparación de muestras SEM y para aplicaciones de película delgada. |
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TurboMetalizador de doble cabezal secuencial para sputteringLa serie Q300TD Plus está constituida por un turbometalizador totalmente automático con cámara de gran tamaño y doble cabezal secuencial desarrollado para aplicaciones de película delgada y el recubrimiento conductor necesario en muestras para microscopia electrónica de barrido (SEM). La configuración de doble cabezal permite recubrir con dos metales (oxidantes y no oxidante) de forma secuencial sin necesidad de interrumpir el proceso ni romper el vacio. Como opción el equipo puede equipar medidor de espesor de dos canales. |