Metalizador Q150 R Plus

Turbo Metalizador / evaporador apoyado en bomba turbo molecular

    El metalizador por sputtering y evaporador Q150R Plus ha sido optimizado para la preparación de muestras para microscopios SEM convencionales (emisores de tugsteno/LaB6) y microscopios SEM de sobremesa. Las aplicaciones tipicas son:

    Recubrimiento por sputtering de metales nobles utilizando los modelos Q150R S y ES Plus.

    Recomendado para trabajar con aumentos:

    • Hasta x 50K automentos utilizando Au, Au/Pd
    • Hasta x 100K aumentos utilizando Pt (opcional)

    Recubrimientos de fibra o barra de carbón para analisis elemental utilizando los modelos Q150R E y ES Plus.

    Toda la serie cuenta con un diseño compacto diseñado para garantizar una cómoda y rápida limpieza de los elementos visibles. Así la cámara de borosilicato de alta calidad tiene forma cilindrica para asegurar su rápida limpieza y la ausencia de ángulos que dificulten o imposibiliten la limpieza. Para proceder a retirar la cámara no es necesario desmontar ningún elemento del sistema, lo que asegura su sencillo mantenimiento.

    Características Principales:

    • Metalización por sputtering, evaporación de carbón o ambos: sistema modular que comparte plataforma
    • Capaz de alcanzar presiones de 2 x 10-3 mbar
    • Nueva pantalla táctil
    • Puerto USB para actualizaciones y descarga de archivos de registro de procesos
    • Perfiles multiusario en la misma máquina
    • Los protocolos de trabajo pueden ordenarse por usuario y fecha de uso
    • Memoria interna de 16 Gb con capacidad para 1000 recetas
    • Indicador de estado del sistema LED multicolor
    • Soportes de muestra intercambiables

    Recubridor Q150R Plus - Recubrimientos de metales nobles por sputtering y evaporador de carbón
    Sputtering / Evaporador Q150R Plus


Caracteristícas Metalizador - Sputtering Q150R Plus:

El sistema ha sido diseñado como opción modular, estando disponible en diferentes configuraciones diferentes:

  • Q150RS Plus: Metalizador por sputtering
  • Q150RE Plus: Evaporador de fibra de carbón
  • Q150RES Plus: Sistema combinado de sputtering y evaporación de fibra y barra de carbón

Aplicaciones Recomendadas para la familiar Q150R Plus

  • Trabajo con pequeña y magnificación media
  • Mejora en la señal de retrodispersados
  • Recubrimiento adicional para microscopios barrido de sobremesa
  • Analítica elemental
  • Metalización de capas de cobre

Debido a su tamaño la serie Q150R Plus no está aconsejada para ritmos de trabajo de producción estando recomendado para su utilización en investigación.

Sistema integrado de metalización y evaporación con pantalla táctil

TurboMetalizador y Turboevaporador de carbon Quorum Q150T Plus

El sistema Q150R Plus se basa en un chasis diseñado de una sóla pieza que permite el acceso rápido para tareas de mantenimiento. Incopora una pantalla táctil a todo color que permite a los distintos usuarios almacenar "recetas" de trabajo en las que pueden variarse todos los parámetros de ajuste del sistema, permitiendo la personalización del sistema para cubrir todas las aplicaciones. El chasis da cobijo a todos los compontes operacionales, incluyendo un control de automático de los flujos de gas para asegurar las condiciones de presión óptimas durante el proceso de recubrimiento.

La cámara de vacio tiene un diámetro interno de 150 mm/6” e incluye protección frente a implosiones.

El metalizador / evaporador se suministra con una bomba de vacio rotativa de velocidad variable que le permite alcanzar niveles de presión de 2 x 10-3 mbar. Ofrecemos otras bombas como opción.

Para más detalles puede consultar la sección: Información Adicional


Metalización, evaporación de carbón - o ambos

El metalizador Q150R Plus está disponible en tres configuraciones diferentes, cada una con su gama de accesorios opcionales

  • Q150RS Plus

Metalizador por sputtering para recubrimientos con metales no oxidantes (nobles). Incluye de serie un blanco (target) de oro (Au), estándo disponibles como opción otros metales, como oro/paladio (Au/Pd), paladio (Pd), platino/paladio (Pt/Pd), y cobre (Cu). El platino (Pt) puede ser tambien pulverizado por iones (sputter) con el accesorio opcional para Pt. Para más detalles puede consultar la sección: Información Adicional

  • Q150RE Plus

Evaporador de carbón de baja presión ideal para aplicaciones de SEM, EDS y WDS. El equipo se suministra de serie con un cabezal de fibra de carbón estando disponible como opción cabezal de barra de carbón.

  • Q150RES Plus

Sistema combinado de metalización y evaporación de baja presión. Los cabezales de deposición pueden ser cambiados en segundos. El sistema es inteligente y detecta automáticamente el cabezal instalado ofreciendo al operador los parámetros del sistema correspondientes para cada proceso.

Todos los modelos cuentan con una gama de accesorios opcionales (cabezal de barras de carbón, monitor de espesor de deposición, glow discharge (plasma), etc). Para más detalles puede consultar la sección: Información Adicional



Nueva pantalla de control táctil 

La nueva pantalla de control táctil de la serie Q150 R Plus ha sido profundamente remodelada ofreciendo ahora:

  • Mayor sensibilidad en el uso de la pantalla
  • Nueva versión del software, utilizando el estilo de los dispositivos inteligentes (smartphones) actuales
  • Ayuda contextual en pantalla
  • Puerto USB para facilitar las actualizaciones de software y la copia / backup de protocolos de trabajo (recetas) a un pendrive
  • Archivos de registro de funcionamiento que pueden ser exportados via USB a un archivo .csv para su analisis en Excel. Los archivos de registro incluyen datos como el tiempo de proceso, fecha y hora, y los parámetros de funcionamiento de cada proceso realizado
  • Memoria interna flash con capacidad para almacenar más de 1000 recetas de trabajo
  • Procesador ARM de doble nucleo para obtener una rápida respuesta

Permite a múltiples usuarios introducir y almacenar recetas de recubrimiento, con la posibilidad de ordenar las recetas por usuarios y fecha de utilización.

Cabezales inteligentes: El sistema detecta automáticamente el cabezal de metalización instalado y muestra en pantalla los parámetros y controles correspondientes al proceso.

Además el sistema solicita al usuario la confirmación del material del blanco (target) y selecciona automáticamente los parámetros de recubrimiento óptimos para ese material.

El software se ha diseñado de forma intuitiva permitiendo a los operadores sin experiencia u ocasionales introducir rápidamente y almacenar sus datos de proceso. Para facilitar la tarea se incluyen parámetros de metalización y evaporación de carbón, pudiendo además los usuarios crear los suyos propios.

El software de la serie Q150R Plus detecta cualquier problema en alcanzar el vacio en un periodo de tiempo determinado deteniendo el proceso en el caso de una perdida de vacio, lo que protege la turbo bomba de sobrecalentamiento.


Evaporación automática y controlada de barra de carbón para aplicaciones TEM

La evaporación controlada permite recubrimientos de carbón con precisos con exactitud en el espesor de la capa de carbón (con o sin monitor de espesor de grosor opcional). La calidad de las peliculas de carbón resultantes es también mejorada por la ausencia completa de chisporretazos durante el proceso de evaporación, común en todos los demás evaporadores del mercado.

Para la deposición de finas capas de carbón en aplicaciones TEM recomendamos el uso de barras de carbón. Las barras cuentan con carbón de pureza superior al grafito presente en la fibra, son menos susceptibles de producir residuos. Además son más fáciles de controlar durante el proceso de evaporación.

Los Q150R E Plus y Q150R ES Plus incluyen protocolos de evaporación por pulsos y rampas para la barra de carbón.



Sputtering con magnetron frio

La evaporación controlada permite recubrimientos de carbón con precisos con exactitud en el espesor de la capa de carbón (con o sin monitor de espesor de grosor opcional). La calidad de las peliculas de carbón resultantes es también mejorada por la ausencia completa de chisporretazos durante el proceso de evaporación, común en todos los demás evaporadores del mercado.

Para la deposición de finas capas de carbón en aplicaciones TEM recomendamos el uso de barras de carbón. Las barras cuentan con carbón de pureza superior al grafito presente en la fibra, son menos susceptibles de producir residuos. Además son más fáciles de controlar durante el proceso de evaporación.

Los Q150R E Plus y Q150R ES Plus incluyen protocolos de evaporación por pulsos y rampas para la barra de carbón.




Cabezales intercambiables

Permite al usuario configurar el sistema como metalizador por sputtering, evaporador de carbono o glow discharge, todo en el mismo equipo ahorrando mucho espacio. Se ofrece un cabezal de hilo de carbón como opcional. El sistema detecta automáticamente el cabezal instalado



Cámara desmontable con protección ante implosiones

La cámara del Q150R Plus es fácilmente desmontable y ha sido diseñado sin ángulos para favorecer su rápida limpieza. En procesos ultralimpios en los que se requiera evitar la posible contaminación cruzada entre procesos pueden utilizarse cámaras adicionales para trabajar con diferentes materiales.

Como opción está disponible una cámara de altura elevada para favorecer los procesos de evaporación de carbón, evitando así el posible calentamiento de la muestra e incrementando la uniformidad de los recubrimientos a la vez que se da cabida a muestras de mayor tamaño.



Múltiples opciones de plataforma portamuestras

La serie Q150R Plus ofrece portamuestras que cubren casi todas las posibilidades. Todas permiten su cómoda y fácil instalación, basadas en un sistema de "caida", es decir, para su instalación no se necesita ninguna herramienta y tienen la altura ajustable (excepto para la plataforma de rotación planetaria).

Algunos ejemplos:


  • Plataforma rotatoria (suministada de serie): 50 mm de Ø que permite acomodar 6 stubs estándars. Ajuste de altura.
  • Plataforma con control de ángulo para mejorar la uniformidad del recubrimiento en superficies irregulares: 50 mm de Ø. Ajuste de ángulo y altura.
  • Plataforma de rotación platenaria y angulo variable, para muestras muy irregulares.
  • Plataforma rotatoria con control de transmisión para obleas (waffers) de 100 mm Ø (4").

Naturalmente podemos fabricar el soporte portamuestras que se ajuste a sus necesidades


Mantenimiento

El chasis del Q150R Plus ha sido diseñado como plataforma única y común para toda la serie Q150Plus lo que facilita las tareas de sustitución de componentes.

La limpieza de la cámara es muy sencilla. Para ello se ha mantenido una geometría cilíndrica, carente de aristas y ángulos que dificulten su limpieza. El desmontaje de la cámara no puede ser más fácil, solamente hay que levantar la tapa y retirarla. Sin necesidad de utilizar herramientas ni accionar complicados mecanismos.

El software es de sencillo manejo y sigue un flujo de trabajo muy intuitivo. Cuenta con herramientas para la monitorización y seguimiento de tareas de mantenimiento como alarmas de la última limpieza, tiempo de trabajo desde el último mantenimiento, etc.


Seguridad

El Q150R Plus cumple con todos los estándares de seguridad CE de la industria:

  • Todos los componentes electrónicos están protegidos por cubiertas.
  • Protección frente a la impolosión para prevenir cualquier daño físico en el caso de fisura en la cámara.
  • Triple mecanismo de seguridad que restringe la alimentación de las fuentes de deposición para prevenir la exposición del usuario al alto voltaje en el caso de que se abriera la cámara durante el proceso.
  • Protección frente a sobrecalentamiento que llegado el caso corta el suministro de corriente a la fuente de alimentación.


Especificaciones Q150Rplus

Chasis

585mmx 470mmx 410mm  (anchura x profundidad x altura)
Altura total con el cabezal de recubrimiento abierto: 650mm

Peso

28,4 kg (embalado 42 kg)

Dimensiones embalaje

725mm x 660mm x 680mm (anchura x profundidad x altura)

Cámara de trabajo

Cristal borosilicato de alta calidad 150mm (diámetro interno) x 127mm (altura)

Pantalla

Pantalla táctil color: area activa: 115,5mm x 86,4mm (anchura x altura), 640 RGB x 480,

Control Usuario

Software gráfico a color con botones táctiles. Incluye registro de los 1000 últimos recubrimientos y recordatorios de mantenimiento cuando se activan los temporizadores de mantenimiento.


Target de sputtering (blanco)

Forma de disco de 57mm ø x 0,1mm. En las versiones R S y R ES se suministra un blanco de oro (Au)

Plataforma de soporte de muestras

Plataforma rotatoria de 50mm ø con velocidad de rotación variable de 8-20 rpm. Existen otros soportes opcionales

Vacio

Bomba de vacío: rotatoria de 2 etapas de 5 m3/hr con filtro de aceite.

Medida de vacio: Medidor pirani.

Vacio último: 2 x 10-3 mbar*

Presión sputtering: entre 7 x 10-3 y 1 x 10-1 mbar para oro

* Presión tipica alcanzada por el sistema de vacio en un equipo limpio después de despresurizar previamente y presurizar con nitrógeno


Procesos

Metalización por sputtering: Corriente de sputter 0-150 mA hasta alcanzar un espesor de deposición predeterminado (con el medidor opcional FTM) o por el temporizador interno del sistema. El tiempo máximo programable para el proceso de sputtering es de 60 minutos (proceso ininterrumpido: sin romper vacio y con periodos de refrigeración automáticos)

Evaporación: Evaporación de carbón utilizándo barras o fibra de cabrón. Evaporación térmica de metales desde filamentos o balsa. Para la limpieza de aperturas TEM se suministra una balsa de molibdeno.


Indicador de estado visual

Los equipos 150PlusT incluyen un indicador visual de gran tamaño que permite conocer a distancia el estado del equipo en todo momento con un simple vistazo.

El indicador LED muestra los siguientes estados:

  • Inicialización
  • Proceso
  • En espera
  • Recubrimiento en progreso
  • Proceso terminado
  • Proceso terminado con error

Tambien se ofrece indicación sonora para el aviso de proceso terminado



La Familia Q150plus T

Q150plus TS:  Turbometalizador por sputtering con bomba de vacio turbomolecular. Controlado mediante pantalla táctil de última generación con indicador de estado mediante LED. Incluye cabezal de sputtering 10034 de rápida instalación y un target de cromo (Cr) de 57mm x 0,3 mm. Se incluye de serie plataforma de muestras rotatoria (10067) de 50mm de diámetro

Q150plus TE: Turboevaporador de carbón con bomba de vacío turbomolecular. Controlado mediante pantalla táctil de última generación con indicador de estado mediante LED. Es adecuado para aplicaciones SEM y TEM. Equipado con un cabezal de barras de carbón para barras de 3,05 mm de diámetro. Se suministra con barras de carbón de 300mm y un afilador de barras de carbón nmanual. Incluye además plataforma 10067 rotatoria de 50 mm de diámetro.

Q150plus TES: Sistema combinado de metalización por sputtering y evaporación. El cabezal de deposición de carbón y el de sputtering pueden cambiarse en segundos sin necesidad de herramientas. El equipo cuenta con un sistema de inteligencia que le permite determinar que cabezal está instalado en el equipo y mostrar en pantalla los parámetros correspondiente. Cuenta de una bomba de vacío turbomolecular y con control mediante pantalla táctil de última generación, con indicador de estado mediante LED. Incluye cabezal de sputtering 10034 y un target de cromo de 57mm x 0,3mm. Además incluye cabezal de evaporación de alto vacio  de barras de carbón 10033 diseñado para barras de carbón de 3,05mm. Los cabezales de recurbimiento son intercambiables. Incluye de serie plataforma de muestras rotatoria 10067


Requisitos de vacío

13034 Bomba de dos etapas 5 m3/hr Pfeiffer DUO 6



Opciones y accesorios

La serie Q150Rplus ofrece una extensa gama de opciones y accesorios, incluyendo un cabezal de glow discharge, monitor de espesor del recubrimiento, soportes adicionales para muestras para cubrir todas las aplicaciones.

Cabezales de recubrimiento (inserts) y Glow Discharge

10879. Cabezal para evaporación de barras de carbón de 3,05mm Ø (disponible sólo para los modelos RE y RES). Incluye afilador de barras de carbón 13232 y cuña de preparación de barras 2097. C5422 (paquete de 10 barras de 3,05mm Ø x 300mm).

10726. Cabezal adicional de blancos (target) para sustitución rápida de metal de recubrimiento (sólo para versiones RS y RES ). NOTA: Este es el cabezal completo para targets. Pueden adquirse target sueltos de diferentes materiales.

10262. Cabezal para Glow discharge. Utilizado para modificar las propiedades de superficie (por ejemplo conversión de hidrofóbico a hidrofílico) (sólo para versiones TS y TES). Puede instalarse en equipos antiguos.

Soportes de muestra

Todos los soportes de muestra son rotarotios a velocidades entre 8 y 20 rpm.

10067. Soporte de 50mm ø

10357. Soporte de 50mm ø y ángulo variable. Con ángulo ajustable hasta 90 grados

10360. Soporte de 50mm ø con ángulo variable de órbita planetaria (Rotacota).

10358. Soporte para portas de microscopio (2 x portas 75 mm x 25 mm ). Incluye reductora de transmisión para permitir el uso del FTM opcional

10458. Soporte rotatorio para obleas (wafers) de 4"/100 mm. Incluye reductora para la cubrir el área de recubrimiento ampliada

10787 Soporte para obleas de 4". Compatible con waffers de 2", 3" y 4"

10788. Soporte para obleas 4” 

10808. Soporte para 8 soportes SEM. Válido para stubs de 25 mm y 30 mm ø

10856. Soporte para 14 stubs. Válido para soportes de muestra SEM de 25 mm y 30 mm ø

12043. Soporte de cubres. Con 92 mm ø el soporte acepta 9 cubres de 20 x 20 mm

12305 Soporte para 4 stub de 24mm

23840 Soporte con angulo variable de 4"

Otras opciones y accesorios

10454. Dispositivo para la medida de espesor depositado (FTM) attachment. Incluye sensor, conexión y cristal de cuarzo

C5460. Cristal de cuarzo adicional para medidor de espesor (FTM)

10429. Cámara de vacio de altura extendida (214 mm  -  la altura de la cámara de serie es de 127 mm). Incrementa la distancia entre la fuente de evaporación y la muestra. Permite además el recubrimiento de muestras de gran tamaño.

10422. Conexión reducida para tubo de vacio. Permite disminuir el espacio necesario para alojar la conexión con el tubo de vacio del Q150TPlus.  Util cuando se dispone de poca profundidad en el banco de trabajo.

13530. Protector de recubrimiento para las muestras estándar

11880. Protector de recubrimiento para muestras de gran tamaño


Targets para sputtering (blancos) para metalizador Q150R S y Q150R ES

Los metalizadores Q150PlusR S y Q150PlusR ES incluyen de serie un target (blanco) de oro (Au) de 0.1 mm grosor (SC502-314A). Los targets son de 57 mm Ø x 0.1 mm de grosor (si no se especifica en contrario).

SC502-314A. Target de oro (Au).

SC502-314A/0.2 mm. Target de oro (Au) 0.2 mm.

TK8889. Oro (Au) 0.3 mm.

SC502-314B. Oro/paladio (Au/Pd - 80:20) 0.3 mm.

SC502-314B/0.2mm. Oro/paladio (Au/Pd - 80:20) 0.2 mm.

SC502-314C. Platino (Pt).

SC502-314C/0.2mm. Platino (Pt) 0.2 mm.

TK8893. Platino (Pt) 0.3 mm.

TK8887. Platino/paladio (Pt/Pd - 80:20%) 0.3 mm.

SC502-314E. Plata (Ag).

SC502-314G. Paladio (Pd).

SC502-314H. Cobre (Cu).

TK8845. Cromo (Cr) 0.3mm

TK8862. Cromo (Cr) 1.5mm

TK8867. Tungsteno (W) 0.2mm

TK8846. Tungsteno (W) 0.5mm

TK8869. Carbón (C) 1.5mm

TK8875. Aluminio (Al) 1mm

TK8895. Titanio (Ti) 0.5mm

TK8879. Titanio (Ti) 1.5mm

TK8897. Hierro (Fe)

TK8899. Iridio (Ir) 0.3mm

TK8900. Cobalto (Co) 0.3mm

TK8902. Estaño (Sn)

TK8903. Molibdeno

TK8905. Magnesio (Mg) 0.3mm

TK8906. Tántalo (Ta)

TK8907. Óxido de indio y estaño (ITO)



Consumibles de carbón para evaporador Q150R E y Q150R ES

A0830A. Barras de carbón 6.15mm Ø x 100 mm longitud (sin afilar) - paquete de 10.

C5422. Barras de cabrón 3,05mm Ø x 100 mm longitud (sin afilar) - paquete de 10.

C5421. Fibra de carbón  - 1 m.

C5421-10. Fibra de carbón  - 10 m.

C5421-100. Fibra de carbón  - 100 m.

C5461. Fibra de carbón - hebra fina - 1 m.

C5461-10. Fibra de carbón - hebra fina - 10 m.

C5461-100. Fibra de carbón - hebra fina - 100 m.

13232. Afilador de barras de carbón para barras de cabrón de 3,05mm  Ø .

12097. Herramienta de cizalla


 

Otros consumibles y kits de accesorios

B5230. Cesta de filamento de tungsteno - Paquete de 10 (para su utilización con el cabezal de evaporación de metal 10457)

B5228. Balsas de molibdeno - Paquete de 10

G6260. Cámara de 6" de diámetro

10068. Cámara de cristal borosilicato adicional

10429. Cámara extendida de cristal de borosilicato

13233. Aceite de bomba de vacio supergrado A - 1L

13235. Aceite de bomba de vacio supergrado A - 5L

O7803. Filtro de aceite

10447. Kit de consumibles y recambios para dos años para Q150T S Plus

10448. Kit de consumibles y recambios para dos años para Q150T E Plus

10449. Kit de consumibles y recambios para dos años para Q150T ES Plus

23606. Juntas cámara de vacio (individual)

Tabla de imagenes

TurboMetalizador y turboevaporador Q150PlusRES
Sistema Combinado Turbo Metalizador y Turbo Evaporador Q150R ES Plus

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Base portamuestras incluida de serie en todos los Q150R y medidor de espesor opcional Portamuestras rotacional de opción para portaobjetos de microscopio Portamuestras rotatorio opcional para el recubrimiento de wafers de hasta 4"


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