Metalizador Q150GB

Turbo Metalizador / Evaporador de alto vacio para cámara de guantes

    Diseñado para su integración en cámaras de guante, el Q150GB es un sistema modular basado en el conocido turbo metalizador y evaporador de alto vacío Q150T ES Plus. El Q150GB incluye de serie un cabezal de metalización y un cabezal de evaporación de barra de carbón junto con un soporte de muestra rotatorio. Al igual que el resto de sus compañeros de generación de equipos de recubrimiento ofrece como opción evaporación de metal, glow discharge, medida de espesor del recubrimiento y soportes de muestra especiales.

    Características Principales:

    • Construcción modular para permitir su integración en cámaras de guante
    • Monitorización de la presión de la cámara de guantes
    • Operación remota vía pantalla de control táctil
    • Evaporación de carbón y metalización en un mismo sistema
    • Evaporación de barras de carbón de alto vacío - Ideal para aplicaciones de recubrimiento de carbón SEM y TEM (fibra de carbón disponible como opción)
    • Apagado del sistema en vacío - Permite mantener la cámara en vacío mientras el sistema está ren reposo
    • Permite depositar películas de elevado espesor (hasta 60 minutos continuos de sputtering sin parar el vacío)
    • Interruptor de bloqueo de presión integral - Detiene el proceso de despresurización si la presión asciende demasiado
    • Opción de extensión de garantía

    Turbo Metalizador para camara de guantes Q150GB
    TurboSputtering / Turbo Evaporador Q150T Plus


Caracteristícas Metalizador - Sputtering Q150GB:

Desarrollado a partir del turbo metalizador Q150T Plus, el Q150GB es una plataforma diseñada tanto para la metalización por sputtering como para laTurboMetalizador y Turboevaporador de carbon Quorum Q150GBevaporación de barras de carbón. Además el sistema también permite la evaporación de metales mediante filamento o balsa utilizando cabezales opcionales.

Dependiendo de las preferencias del usuario, el Q150GB puede ser un metalizador por sputtering de altas prestaciones para microscopía de barrido de alta resolución (SEM) o un evaporador de carbón adecuado para aplicaciones SEM y microscopía electrónica de transmisión (TEM). La flexibilidad del Q150GB puede además expandirse fácilmente utilizando la gama de accesorios opcionales.

El Q150GB puede realizar sputtering de metales oxidantes y no oxidantes lo que le hace ideal para aplicaciones de recubrimientos de película fina.

El metalizador Q150GB cuenta con una bomba turbomolecular integrada y requiere de una bomba rotatoria para apoyar la bomba turbomolecular.

Este equipo se ha diseñado para su uso en Investigación.



Diseño modular flexible

Camara de proceso y bombaturbo Q150GB

El Q150GB cuenta con un diseño modular que permite que el conjunto cámara de vacío y turbobomba sea instalado  a través de la base de la cámara de guantes o cuando esto no es posible (porque no puede modificarse el suelo de la cámara de guantes) dentro de la cámara de guantes (para lo cual es necesario contar entradas adicionales

La fuente de alimentación del sistema está alojada en un sólido chasis que está diseñada para ser instalada en el suelo y puede ser colocada debajo de la cámara de guantes o en un estante. La pantalla de control táctil está alojada en un protector de acero inoxidable y si se desea puede ser instalada a su vez fuera de la cámara de guantes



Opciones para su integración en cámara de guantes

1. Cámara de vacío instalada a través del suelo de la cámara de guantes:
Para llevar a cabo este tipo de integración es necesario poder realizar un corte en el suelo de la cámara de guantes. Se suministran las juntas adecuadas para garantizar la estanqueidad de la cámara de guantes. La bomba de vacío turbomolecular sigue fisicamente conectada a la cámara del Q150GB pero fuera de la cámara de guantes para garantizar el ambiente de la cámara de guantes sin variar sus propiedades por la desgasificación que puede suceder durante la despresurización y retirada de particulas durante el proceso de metalización. Las conexiones externas de la fuente de alimentación, bomba de apoyo rotatoria y entrada de argón se realizan directamente.

2. Modulo de vacio instalado dentro de la cámara de guantes:
La cámara del Q150 GB se instala dentro de la cámra de guantes y las conexiones con la fuente de alimentación, bomba de vacio de apoyo, y fuente de gas argón se realizan a traves de dos conexiones KF40 en la parte de atrás de la cámara de guantes.

NOTA: Cada Q150GB se suministran con el kit de accesorios y configuración para ajustarse a la instalación interna o externa. Se pueden suministrar kits adicionales para adaptarse a diferentes fabricantes de cámara de guantes. Contacte con nosotros para obtener información más específica.



Pantalla de control táctil - rápida entrada de datosPantalla control tactil Q150GB

La pantalla de control táctil de la serie Q150GB está integrada en un sólido chásis de acero inoxidable puede instalarse en una cómoda posición fuera de la cámara de guantes permitiéndo el control de múltiples usuarios, la programación y el almacenamiento de protocolos de recubrimiento.

El corazón operaciones del Q150GB es la pantalla táctil que permite el control por operadores ocasionales y sin experiencia, quienes pueden introducir los datos de proceso de forma rápida y sencilla y almacenar los metodos de proceso para su uso futuro. Además se incluyen perfiles de metalización por sputtering y evaporación.



Módulo de vacío - con "apagado en vacío" e integración con la presión de la cámara de guantes

El modulo de vacío integra todos los componentes encargados de la despresurización de la cámara de recubrimiento, incluyendo una bomba turbomolecular de 70 L/s refrigerada por aire forzado. La alimentación automática garantiza las mejores condiciones de vacio durante el recubrimiento por sputtering y de serie se instala un medidor de presión con todo el rango para monitorizar el vacio.

El Q150GB incluye la función "apagado en vacio" que mejora el rendimiento del vacío manteniendo la cámara de recubrimiento en vacío cuando el metalizador no está en uso.

Una función exclusiva del Q150GB es el interruptor de bloqueo de presión integral. Esta avanzada funcionalidad monitoriza la presión dentro de la cámara de guantes y detiene la bomba de vacío si la atmosfera de la cámara de guantes no es aceptable debido a una fuga de vacío.

La cámara de vacío tiene una altura de 214 mm para permitir distancias incrementadas de la fuente de metalización al sustrato requieridas para recubrir muestras de gran tamaño. Tiene un diámetro externo de 165mm y se entrega con protección integrada frente a implosiones. La cámara es fácil de retirar para permitir la sencilla colocación  y su limpieza.

De serie incluye una plataforma portamuestras rotatoria con ajuste de altura de 0 a 190mm sobre la base. Existen otros soportes de muestras opcionales.


Metalización por sputtering y evaporación de carbón de serie, además opción de evaporación de metal

Los cabezales de deposición pueden intercambiarse de forma muy rápida en segundos y la lógica del sistema inteligente reconoce automáticamente el cabezal instalado en el sistema mostrando en pantalla los parámetros apropiados.

La serie Q150V Plus utiliza un magnetrón con plasma de baja temperatura optimizados para trabajar en alto vacío, lo que combinado con el uso de baja corriente y absoluto control de la deposición asegura la uniformidad en el recubrimiento sobre la muestra y su protección.

El Q150V S Plus y el Q150V ES Plus utilizan blancos de metalización (targets) con forma de disco de 57mm de diámetro y ha sido diseñado para recubrir por sputtering de metales nobles y oxidantes. Los turbometalizadores Q150V S Plus y Q150V ES Plus incorporan de serie un target de cromo (Cr). Otras opciones de blanco incluyen: Au, Au/Pd, Pt/Pd, Pd, Pt, Cu, Ir, W, ITO y Al. Además ofrecemos otros muchos metales. Consulte con nosotros.


Recubrimiento por sputtering de alta resolución

La serie Q150GB incluye un cabezal de metalización por sputtering de alta resolución (10034) diseñado para trabajar con metales nobles (no oxidantes) y metales oxidantes. Los turbometalizadores Q150GB incorporan de serie un target de cromo (Cr). Otras opciones de blanco incluyen: Au, Au/Pd, Pt/Pd, Pd, Pt, Cu, Ir, W, ITO y Al. Además ofrecemos otros muchos metales. Consulte con nosotros.

Evaporación de barras de carbón

El cabezal de barras de carbón de alta resolución (10033) es ideal para la producción de películas estables de carbón y recubrimientos de superficie para microscopía electrónica de transmisión (TEM). El Q150GB utiliza barras de carbón de 3,05mm de diámetro y el cabezal de evaporación con tecnología anti-stick® ofrece resultados reproducibles con un manejo muy sencillo.

Se ofrece como opción un cabezal de evaporación de fibra de carbón (más información en información adicional).

Evaporación de barras de carbón con control de rampas

De serie en los modelos E y ES aporta dos ventajas significativas. La evaporación delicada permite el control preciso del espesor de carbón depositado (con o sin monitor de espesor opcional). Además la calidad de la película de carbón se mejora por la eliminación de los chispazos, efecto muy común y no deseado que aparece siempre en sistemas de recubrimiento menos avanzados.

Evaporación de hilo de carbón con control de rampas

Si se instala el cabezal opcional de fibra de carbón (en los modelos E y ES, los perfiles de deposición controlada aseguran que el carbón se evapora en pulsos cortos, lo que reduce significativamente la cantidad de material indeseado (esto incluye fragmentos de carbón de gran tamaño) que pueden caer sobre la muestra, y que está asociado  a la evaporación tradicional de hilo de cabrón. Además puede trabajar en conjunción con el monitor de espesor depositado opcional creando películas muy reproducibles.


Evaporación de metal y limpieza de aperturas

El cabezal opcional (10457) permite la evaporación de metal depositado sobre cestas de tugsteno o balsas de molibdeno. Es ideal para aplicaciones en las que se requiere del recubrimiento mediante películas delgadas. Para mayor facilidad de trabajo dentro de la cámara de guantes, la carga de metal puede cargarse dentro de la fuente de evaporación fuera de la cámara de vacio.


Todas las configuraciones indicadas más arriba pueden tuilizarse con una amplia gama de accesorios. Mire la sección más información.


Opciones y accesorios

La serie Q150 GB tiene una gran gama de accesorios y opciones, incluyendo un cabezal glow discharge, monitor de espesor de película depositada, y multitud de soportes de muestra para cubrir todas las aplicaciones. Todas permiten su cómoda y fácil instalación, basadas en un sistema de "caida", es decir, para su instalación no se necesita ninguna herramienta y tienen la altura ajustable (excepto para la plataforma de rotación planetaria).

Algunos ejemplos:

  • Plataforma rotatoria (suministada de serie): 50 mm de Ø que permite acomodar 6 stubs estándars. Ajuste de altura.
  • Plataforma con control de ángulo para mejorar la uniformidad del recubrimiento en superficies irregulares: 50 mm de Ø. Ajuste de ángulo y altura.
  • Plataforma de rotación platenaria y angulo variable, para muestras muy irregulares.
  • Plataforma rotatoria con control de transmisión para obleas (waffers) de 100 mm Ø (4").

Naturalmente podemos fabricar el soporte portamuestras que se ajuste a sus necesidades


Mantenimiento

El chasis del Q150 T Plus ha sido diseñado como plataforma única y común para toda la serie Q150 lo que facilita las tareas de sustitución de componentes.

La limpieza de la cámara es muy sencilla. Para ello se ha mantenido una geometría cilíndrica, carente de aristas y ángulos que dificulten su limpieza. El desmontaje de la cámara no puede ser más fácil, solamente hay que levantar la tapa y retirarla. Sin necesidad de utilizar herramientas ni accionar complicados mecanismos.

El software es de sencillo manejo y sigue un flujo de trabajo muy intuitivo. Cuenta con herramientas para la monitorización y seguimiento de tareas de mantenimiento como alarmas de la última limpieza, tiempo de trabajo desde el último mantenimiento, etc.


Seguridad

El Q150 GB cumple con todos los estándares de seguridad CE de la industria:

  • Todos los componentes electrónicos están protegidos por cubiertas.
  • Protección frente a la impolosión para prevenir cualquier daño físico en el caso de fisura en la cámara.
  • Triple mecanismo de seguridad que restringe la alimentación de las fuentes de deposición para prevenir la exposición del usuario al alto voltaje en el caso de que se abriera la cámara durante el proceso.
  • Protección frente a sobrecalentamiento que llegado el caso corta el suministro de corriente a la fuente de alimentación.


Especificaciones Q150GB

Dimensiones:

Módulo de vacio
267 mm x 490mm x 494mm (ancho x fondo x alto)
Altura total con el cabezal de recubrimiento abierto: 767mm

Fuente de alimentación:
310mm x 357mm x 262mm (ancho x fondo x alto)

Módulo de control:
310mm x 357mm x 262mm (ancho x fondo x alto)

Peso

40 kg (embalado 42 kg)

Dimensiones embalaje

725mm x 660mm x 680mm (ancho x fondo x alto) - 44 kg

Cámara de trabajo

Cristal borosilicato de alta calidad 152mm (diámetro interno) x 214mm (altura)

Pantalla de seguridad

Cilindro integrado de tereflatato de polietileno (PET)

Pantalla

Pantalla táctil color: tamaño: 145 mm, resolución 320mm x 240mm con tecnología de transistor de película delgada (TFT)

Control Usuario

Software gráfico a color con botones táctiles. Incluye registro de los 100 últimos recubrimientos y recordatorios de mantenimiento cuando se activan los temporizadores de mantenimiento.

Target de sputtering (blanco)

Forma de disco de 57mm ø . En las versiones T S y T ES se suministra un blanco de 0,3mm de cromo

Plataforma de soporte de muestras

Plataforma rotatoria de 60mm ø con velocidad de rotación variable de 8-20 rpm. Existen otros soportes opcionales

Protección de la muestra

Se incluye un escudo protector de la muestra automático (shutter) para evitar que la muestra reciba contaminación durante los procesos de pre-sputtering de metales oxidantes y durante los tiempos de desgasificacdo de carbón durante los procesos de evaporación

Vacio

Bomba de vacío: rotatoria de 2 etapas de 5 m3/hr con filtro de aceite.

Bomba turbomolecular: de instalación interna 70 l/s refrigerada por aire

Medida de vacio: Medidor pirani. Opción de medidor de amplio espectro

Vacio último: 5 x 10-5 mbar*

Presión sputtering: entre 5 x 10-3 y 1 x 10-1 mbar

Presión tipica alcanzada por el sistema de vacio en un equipo limpio después de despresurizar previamente y presurizar con nitrógeno

Procesos

Metalización por sputtering: Corriente de sputter 0-150 mA hasta alcanzar un espesor de deposición predeterminado (con el medidor opcional FTM) o por el temporizador interno del sistema. El tiempo máximo programable para el proceso de sputtering es de 60 minutos (proceso ininterrumpido: sin romper vacio y con periodos de refrigeración automáticos)

Evaporación: Evaporación de carbón utilizándo barras o fibra de cabrón. Fuente de alimentación robusta D.C. con capacidad para realizar evaporación por pulsos para realizar procesos de evaporación de fibra o barra de carbón de forma reproducible. Pulsos de corriente: 1-70A

Evaporación de metales y limpieza de aperturas (opcionales)

Evaporación térmica de metales desde filamentos o balsa. Para la limpieza de aperturas TEM se suministra una balsa de molibdeno. El cabezal de evasporación de metales está configurado para evaporación hacia abajo, para puede realizarse también evaporación hacia arriba con los dos extensores suministrados. Los tiempos de evaporación son de hasta 4 min.

Q150 GB turbometalizador por sputtering / turboevaporador de carbón para cámara de guantes

Equipo modular de alta resolución de recurbimiento por sputtering y evaporador con control de pulsos despresurizado con bomba turbomolecular. Incluye:

10034 Cabezal de sputtering que incluye un target de cromo de 57Ø x 0,3mm

10033 Cabezal de evaporación de barras de carbón incluyendo barras de carbón (C5422 3,05Ø x 300mm) y un afilador S8651.

10067 plataforma de muestras rotatoria


Requisitos de vacío

13034 Bomba de dos etapas 5 m3/hr Pfeiffer DUO 6

Opciones de bomba sin aceite:

11540 Bomba de diafragma. Vacuubrand MD1 23 L/m

20063 Bomba de espiras Edwards nXDS6i


Opciones y accesorios

La serie Q150GB ofrece una extensa gama de opciones y accesorios, incluyendo un cabezal de glow discharge, monitor de espesor del recubrimiento, soportes adicionales para muestras para cubrir todas las aplicaciones.

Cabezales de recubrimiento (inserts) y Glow Discharge

10455. Cabezal para evaporación de fibra (hilo) de carbón (solo para modelos TE y TES ). Se suministra con 2 m de fibra de carbón.

10456. Cabezal para evaporación de barras de carbón. Para barras de 6,15Ømm

10457. Cabezal para evaporación de metal y soporte aperturas. Incluye la capacidad de evaporar hacia arriba o hacia abajo (versiones TE y TES). Se suministra con 10 filamentos de tugsteno (B5230) y una balsa de molibdeno (Mo).

10453. Cabezal adicional de blancos (target) para sustitución rápida de metal de recubrimiento (sólo para versiones TS y TES ). NOTA: Este es el cabezal completo para targets. Pueden adquirse target sueltos de diferentes materiales.

10262. Cabezal para Glow discharge. Utilizado para modificar las propiedades de superficie (por ejemplo conversión de hidrofóbico a hidrofílico) (sólo para versiones TS y TES). Puede instalarse en equipos antiguos.

Soportes de muestra

Todos los soportes de muestra son rotarotios a velocidades entre 8 y 20 rpm.

10067. Soporte de 50mm ø

10357. Soporte de 50mm ø y ángulo variable. Con ángulo ajustable hasta 90 grados

10360. Soporte de 50mm ø con ángulo variable de órbita planetaria (Rotacota).

10358. Soporte para portas de microscopio (2 x portas 75 mm x 25 mm ). Incluye reductora de transmisión para permitir el uso del FTM opcional

10458. Soporte rotatorio para obleas (wafers) de 4"/100 mm. Incluye reductora para la cubrir el área de recubrimiento ampliada

10787 Soporte para obleas de 4". Compatible con waffers de 2", 3" y 4"

10788. Soporte para obleas 4” 

10808. Soporte para 8 soportes SEM. Válido para stubs de 25 mm y 30 mm ø

10856. Soporte para 14 stubs. Válido para soportes de muestra SEM de 25 mm y 30 mm ø

12043. Soporte de cubres. Con 92 mm ø el soporte acepta 9 cubres de 20 x 20 mm

12305 Soporte para 4 stub de 24mm

23840 Soporte con angulo variable de 4"

Otras opciones y accesorios

10454. Dispositivo para la medida de espesor depositado (FTM) attachment. Incluye sensor, conexión y cristal de cuarzo

C5460. Cristal de cuarzo adicional para medidor de espesor (FTM)

10429. Cámara de vacio de altura extendida (214 mm  -  la altura de la cámara de serie es de 127 mm). Incrementa la distancia entre la fuente de evaporación y la muestra. Permite además el recubrimiento de muestras de gran tamaño.

10422. Conexión reducida para tubo de vacio. Permite disminuir el espacio necesario para alojar la conexión con el tubo de vacio del Q150TPlus.  Util cuando se dispone de poca profundidad en el banco de trabajo.

13530. Protector de recubrimiento para las muestras estándar

11880. Protector de recubrimiento para muestras de gran tamaño



Targets para sputtering (blancos)

Los metalizadores Q150 GB incluyen de serie un target (blanco) de cromo (Cr) de 0.3 mm grosor (TK8845). Los targets son de 57 mm Ø x 0.1 mm de grosor (si no se especifica en contrario).

SC502-314A. Target de oro (Au).

SC502-314A/0.2 mm. Target de oro (Au) 0.2 mm.

TK8889. Oro (Au) 0.3 mm.

SC502-314B. Oro/paladio (Au/Pd - 80:20) 0.3 mm.

SC502-314B/0.2mm. Oro/paladio (Au/Pd - 80:20) 0.2 mm.

SC502-314C. Platino (Pt).

SC502-314C/0.2mm. Platino (Pt) 0.2 mm.

TK8893. Platino (Pt) 0.3 mm.

TK8887. Platino/paladio (Pt/Pd - 80:20%) 0.3 mm.

SC502-314E. Plata (Ag).

SC502-314G. Paladio (Pd).

SC502-314H. Cobre (Cu).

TK8845. Cromo (Cr) 0.3mm

TK8862. Cromo (Cr) 1.5mm

TK8867. Tungsteno (W) 0.2mm

TK8846. Tungsteno (W) 0.5mm

TK8869. Carbón (C) 1.5mm

TK8875. Aluminio (Al) 1mm

TK8895. Titanio (Ti) 0.5mm

TK8879. Titanio (Ti) 1.5mm

TK8897. Hierro (Fe)

TK8899. Iridio (Ir) 0.3mm

TK8900. Cobalto (Co) 0.3mm

TK8902. Estaño (Sn)

TK8903. Molibdeno

TK8905. Magnesio (Mg) 0.3mm

TK8906. Tántalo (Ta)

TK8907. Óxido de indio y estaño (ITO)



Consumibles de carbón

A0830A. Barras de carbón 6.15mm Ø x 100 mm longitud (sin afilar) - paquete de 10.

C5422. Barras de cabrón 3,05mm Ø x 100 mm longitud (sin afilar) - paquete de 10.

C5421. Fibra de carbón  - 1 m.

C5421-10. Fibra de carbón  - 10 m.

C5421-100. Fibra de carbón  - 100 m.

C5461. Fibra de carbón - hebra fina - 1 m.

C5461-10. Fibra de carbón - hebra fina - 10 m.

C5461-100. Fibra de carbón - hebra fina - 100 m.

13232. Afilador de barras de carbón para barras de cabrón de 3,05mm  Ø .

12097. Herramienta de cizalla


Otros consumibles y kits de accesorios

B5230. Cesta de filamento de tungsteno - Paquete de 10 (para su utilización con el cabezal de evaporación de metal 10457)

B5228. Balsas de molibdeno - Paquete de 10

G6260. Cámara de 6" de diámetro

10068. Cámara de cristal borosilicato adicional

10429. Cámara extendida de cristal de borosilicato

13233. Aceite de bomba de vacio supergrado A - 1L

13235. Aceite de bomba de vacio supergrado A - 5L

O7803. Filtro de aceite

10447. Kit de consumibles y recambios para dos años para Q150T S Plus

10448. Kit de consumibles y recambios para dos años para Q150T E Plus

10449. Kit de consumibles y recambios para dos años para Q150T ES Plus

23606. Juntas cámara de vacio (individual)

Tabla de imagenes

TurboMetalizador y turboevaporador Q150GB
Sistema Combinado Turbo Metalizador y Turbo Evaporador para cámara de guantes Q150GB

Metalizador especial para cámara de guantes
Turbometalizador diseñado para trabajar en camara de guantes libre de agentes contaminantes Pantalla tactil de control del turbometalizador para realizar las operaciones sin tocar la camara de guantes
Target (blanco) del cabezal intercambiable de sputtering del metalizador Q150GB para guantes Eliminacion de contaminacion del target de metalizacion por sputtering en el turbometalizador automatico para camara de guantes Q150GB Detalle del sistema de sujecion y ajuste de las barras de carbon del cabezal intercambiable de evaporacion del turbometalizador Q150GB para camara de guantes


gallery thumbnail Plataforma portamuestras rotatoria incluida en el metalizador Q150Gb gallery thumbnail


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